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TDM1.2-050-300-W1-000 SCANAMPの修理をしました!!2018.11.19
ピアテクニカルのささきです。
TDM1.2-050-300-W1-000 スキャンアンプの修理をしました。
こちらがTDM1.2-050-300-W1-000 スキャンアンプです。
お客様のお困りごとは
ウェーハのロード/アンロード時に、「スキャンロード位置でない」とエラーが発生し、搬送異常となる。
との事でした。
故障原因は、基板についている3端子レギュレータ故障（異常加熱）。
↑これが故障した3端子レギュレータで熱を持ち、
↓熱を持つとこんなにも焼けてしまいます。
この故障から信号電圧供給不良を起こし、AMPが正常動作しなくなります。
外部で確認できる動作環境を構築しておりますので、
動作環境も保証して修理しております。
何か気になる症状がありましたら、まずはお問い合わせください。
お問い合わせはこちら→SCAN AMPなんか問い合わせしたい
ピアテクブログ担当ささきでした。
