半導体製造装置の修理なら株式会社ピアテクニカル

Ｐ／Ｎ　　：4022.436.54006
品名　　　：Cabinet Supply Unit
不具合内容：「WS INTERLOCK」「RS INTERLOCK」スイッチが点灯し解除出来ない。

修理内容　： リレーモジュールの交換。