P/N :IG6200-WIB 品名 :イオンゲージコントローラー メーカー :ULVAC 不具合内容:IG ON…E-3Torr IG OFF…E-5Torr
修理内容 : 故障が判明した、電子パーツと経年劣化が見られるFANを交換しました。